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科研設備科研儀器設備科研專用加熱設備晨立專業設計定制

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公　司：青島晨立電子有限公司

發布時間：2024年10月22日

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姜先生先生 (銷售經理)

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真：手　　機： 13954285618 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓郵　　編：
公司主頁：	http://m18612520901.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

設備用途：實驗爐是半導體加工中的典型熱處理設備，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。

主要技術參數：
◆工藝管數量：1-4管
◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作溫度范圍：400～1280℃
◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆結構型式：臥式熱壁型
◆氣體流量設定精度:±1％F.S
◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）噪音：≤62dB（A）震動：≤3μm
◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制
◆控制方式：工業微機控制

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