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長(zhǎng)期供應(yīng)石墨半導(dǎo)體離子注入等離子蝕刻用石墨制品

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發(fā)布時(shí)間：2024年08月30日

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詳細(xì)說明

1.離子注入用石墨，細(xì)顆粒高密度的石墨呈現(xiàn)出很強(qiáng)的抗腐蝕性，即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此。
2.由于離子束的原因，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗，故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。
3.我司采用德國(guó)西格里石墨，不僅能為各種離子注入機(jī)提供石墨屏蔽罩，且提供各種規(guī)格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。
4.即使在離子轟擊或等離子等極限工作條件下，細(xì)粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設(shè)備的金屬部件要接觸離子束，磨損嚴(yán)重，可使用合適的石墨擋板進(jìn)行保護(hù)。
我司不僅提供石墨擋板，還提供適用于各種注入機(jī)的電極和離子源，這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和純度高的優(yōu)點(diǎn)。

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