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半導體冷熱測試一體機 循環制冷機chiller
半導體冷熱測試一體機 循環制冷機chiller //半導體冷熱測試一體機 循環制冷機chiller
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公 司:
成都中冷低溫科技有限公司
發布時間:2024年10月21日
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成都中冷低溫科技有限公司
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半導體冷熱測試一體機 循環制冷機chiller ZL802
主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精ZHUN控制,具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
本設備采用變頻控溫方式,提高能效,減少能耗。
-20℃下目標制冷量可以達到3600W,滿足用戶制冷需求。精QUE控溫,控溫穩定性達到±0.1℃,使用范圍廣,設定溫度:-20℃~80℃。
半導體冷熱測試一體機 循環制冷機chiller ZL802
應用于半導體行業蝕刻裝置,CMP (工藝機械拋光),實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。
溫控精度(空載時)±0.05℃
觸摸屏操作,人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
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