無錫吉致電子25年研發生產——碳化硅晶圓拋光液/硅襯底SIC拋光液/半導體拋光液/CMP化學機械拋光液/硅襯底拋光液/slurry拋光液
產品簡介：為電力電子器件及LED用碳化硅晶片的CMP化學機械平坦化配制的拋光液。CMP拋光液大大提高了碳化硅晶圓表面去除率和平坦化性能，提供了非常好的表面光潔度
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液使用方法：
1.可根據拋光操作條件用去離子水進行5-20倍稀釋。
2.稀釋后，粗拋時調節PH11左右，精拋時調節PH9.5左右。pH調節可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分攪拌下慢慢加入。
3.循環拋光可以用原液。
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液儲存方法：
1.貯存時應避免曝曬，貯存溫度為5-35℃
2.低于0℃以上儲存，防止結冰，在無度以下因產生不可再分散結塊而失效。
3.避免敞口長期與空氣接觸。
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液價格：
吉致電子的碳化硅晶圓拋光液生產技術是引進國外生產技術和設備，特殊化學配方制備而成。吉致電子拋光液品質可以媲美進口同類產品。
本土化生產使得吉致電子CMP拋光液產品交貨周期快，品質好，拋光液價格親民。 |
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