測(cè)試項(xiàng)目：
1：形貌、能譜點(diǎn)掃、能譜線掃、能譜面掃（mapping）
2：儀器放大倍數(shù)范圍是100倍-20W倍，常規(guī)樣品可以拍攝到8-10W倍，導(dǎo)電性不好或磁性樣品大于8W倍可能會(huì)不清晰。
3：能譜：SEM能譜一般只能測(cè)C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不準(zhǔn)，不建議做）如果需要打能譜，需要備注好測(cè)試位置以及能譜打哪些元素，需要注意的是制樣時(shí)待測(cè)元素不能與基底成分有重合，如果要測(cè)C元素，樣品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，錫紙上，如果要測(cè)Si元素，注意不要制樣到硅片上。
注意事項(xiàng)：
(1)要求樣品無毒、無放射性、干燥無污染、熱穩(wěn)定性好、耐電子束轟擊。保證測(cè)試人員安全；
(2)樣品必須干燥，不含水分或有機(jī)揮發(fā)物；
(3)樣品必須具有穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)，在高能電子束的輻照下保持成分穩(wěn)定和形態(tài)不變；
(4)樣品觀察面應(yīng)清潔，無污染物，同時(shí)觀察面應(yīng)盡量平整；
(5)樣品必須具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性，在電子束轟擊下不易被分解，熱穩(wěn)定性高；
(6)磁性樣品要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場(chǎng)的影響；
(7)樣品可以是粉末、薄膜、塊體，無論是表面還是新斷開的斷口或斷面，一般不需要進(jìn)行處理，以保持其原始的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。
樣品量的要求：
粉末、液體、薄膜、塊體均可測(cè)試，粉體樣品大概10mg，塊體樣品要求長寬≤25px，厚度≤25px，樣品質(zhì)量不超過200g；混凝土，珊瑚沙，氣凝膠等需要抽真空時(shí)間非常長的樣品尺寸請(qǐng)盡可能直徑≤5mm，厚度≤5mm；
(8)塊體：直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺(tái)上測(cè)試，若需拍塊體/薄膜截面，需明確截面制備方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式；薄膜或塊狀標(biāo)記好要測(cè)試的面（正面和反面），制樣方式有特殊需求請(qǐng)說明 |
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