退火爐
主要技術參數(shù)
◆工藝管數(shù)量：可根據客戶需求制作為1-4管
◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆結構型式：臥式熱壁型或立式
◆工作溫度范圍：400～1280℃
◆氣體流量設定精度:±1％F.S
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆恒溫區(qū)長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）
◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）
噪音：≤62dB（A）
震動：≤3μm
◆控制方式： 工業(yè)微機控制
◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制
退火爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業(yè)中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，其關鍵部件全部采用進口部件，仿國外熱處理制造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家廠家選為長期供貨商，可根據客戶不同需求定制，廠家直接供貨。
我公司可根據客戶需求個性化定制實驗室科研退火爐、管式退火爐，管式真空退火爐、管式擴散爐、管式燒結爐、管式合金爐等高溫電爐，廠家直接供貨，歡迎廣大用戶來電咨詢。 |
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