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高溫擴散爐-合金爐

高溫擴散爐-合金爐//高溫擴散爐-合金爐

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公　司：青島晨立電子有限公司

發布時間：2024年10月22日

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姜先生先生 (銷售經理)

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真：手　　機： 13954285618 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓郵　　編：
公司主頁：	http://m18612520901.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

設備用途：

高溫擴散爐是半導體加工中的典型熱處理設備，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。

產品描述：

◆軟著陸載片裝置

軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴散均勻性。同時槳的清洗周期大幅度延長。

◆高精度溫度控制

新型爐體設計，提高了溫度穩定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩定。

◆高性能進口元器件組合

關鍵件采用進口管件，且為半導體級別；優質的元器件組合，從而保證成膜質量

主要技術參數:

◆工藝管數量：1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆結構型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：400～1280℃

◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）

噪音：≤62dB（A）

震動：≤3μm

◆控制方式：工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

青島晨立電子有限公司可根據客戶需求定制、改造各種非標擴散爐，擴散爐系統，熱烈歡迎新老客戶致電商討。

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聯系人：姜先生電話：0532-88533525

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