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實(shí)驗(yàn)熱處理爐+實(shí)驗(yàn)科研爐價(jià)格--晨立加工定制 實(shí)驗(yàn)熱處理爐+實(shí)驗(yàn)科研爐價(jià)格--晨立加工定制//實(shí)驗(yàn)熱處理爐+實(shí)驗(yàn)科研爐價(jià)格--晨立加工定制

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公 司: 青島晨立電子有限公司 
發(fā)布時(shí)間:2024年10月23日
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公 司:青島晨立電子有限公司

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詳細(xì)說(shuō)明

    設(shè)備用途:實(shí)驗(yàn)爐是半導(dǎo)體加工中的典型熱處理設(shè)備,用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)中進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。



主要技術(shù)參數(shù):
◆工藝管數(shù)量:1-4管
◆工藝管口徑:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作溫度范圍:400~1280℃
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)

◆結(jié)構(gòu)型式:臥式熱壁型
◆氣體流量設(shè)定精度:±1%F.S
◆氣路系統(tǒng)氣密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超凈工作臺(tái):凈化等級(jí):100級(jí)(萬(wàn)級(jí)廠房)噪音:≤62dB(A)震動(dòng):≤3μm
◆記錄工藝曲線(xiàn)數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制
◆控制方式: 工業(yè)微機(jī)控制



產(chǎn)品描述:

◆高 性 能進(jìn)口元器件
組合關(guān)鍵件采用進(jìn)口管件,且為半導(dǎo)體級(jí)別;優(yōu) 質(zhì)的元器件組合,從而保 證成膜質(zhì)量。
◆高精度溫度控制
新 型爐體設(shè)計(jì),提高了溫度穩(wěn)定性;配合高精度溫控儀的使用,保證工藝過(guò)程中溫度的快速穩(wěn)定。
◆軟著陸載片裝置
軟著陸送料裝置,避免了SiC槳的遮擋影響,提高了擴(kuò)散均勻性。同時(shí)槳的清洗周期大幅度延長(zhǎng)。


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