在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
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消防應(yīng)急措施
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點火源著火爆炸。用排風(fēng)機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發(fā)，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。 |
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