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便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 設計緊湊, 重量僅 21kg, 占用空間小, 前級泵清潔無油, 通用電壓, 滿足無任何污染工藝要求. 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 是目前市場上同類型檢漏儀中輕便緊湊的產品!
便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 特性：
1. 集成無油真空系統: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列渦輪分子泵
2. 支持真空或吸槍檢漏模式, 重量僅 21 Kg
3. 氦氣抽速 1.1l/s, 進氣口壓力 15 hPa
4. 豐富的可選配件: 吸槍, 遙控器, 小推車, 標準漏孔等, 兼容 RC 10 遙控器
5. 帶有可伸縮手柄的靈巧設計
6. 可以在任何位置操作: 水平或垂直, 較低的維護
7. USB 接口, 方便數據傳輸,
8. 帶有圖像功能的大屏幕高亮度彩色觸摸屏, 10種語言可選
Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 應用：
1. 半導體, 鍍膜, 太陽能
2. 分析儀器, 科研, 加速器質譜
3. 工業, 電廠, 化工
4. 系統集成
上海伯東檢漏儀客戶案例
半導體用光刻機檢漏, 整機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用負壓法檢漏. 漏率設置 5x10-11pa m3/s.
杜瓦封裝檢漏
內部集成紅外探測器的 2m3 杜瓦封裝器件, 應用于火星探測項目, 杜瓦封裝器件采用真空模式檢漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
超高真空系統檢漏
超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 為保證較高的真空度, 需要對整個真空系統的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進行泄漏檢測. 為保證實驗腔體的清潔干燥, 選擇前級泵為干泵的氦質譜檢漏儀
若您需要進一步的了解氦質譜檢漏儀詳細信息或討論，請聯絡上海伯東鄧女士，分機13 |
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