倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計(jì)
Gemini MPG55x / MAG55x
INFICON Gemini™倒置磁控管真空計(jì)是所有真空測(cè)量應(yīng)用的動(dòng)力源泉。Gemini MPG50x將兩項(xiàng)傳感器技術(shù)整合在一個(gè)小裝置中，測(cè)量范圍從大氣壓至1 × 10-9毫巴；而 Gemini MAG50x是一個(gè)純冷陰極傳感器系統(tǒng)(不含皮拉尼元件)，測(cè)量范圍從1 × 10-2毫巴至1 × 10-9毫巴。獲得專利的超低雜散磁場(chǎng)設(shè)計(jì)為全新的應(yīng)用領(lǐng)域開啟了大門。獨(dú)特的可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護(hù)，使Gemini成為同類產(chǎn)品中極其堅(jiān)固耐用的經(jīng)濟(jì)型真空計(jì)。
MAG和MPG Gemini現(xiàn)在提供EtherCAT現(xiàn)場(chǎng)總線和設(shè)定點(diǎn)MAG55x和MPG55x。
對(duì)于腐蝕性應(yīng)用，我們建議使用陶瓷涂層版本MxG5x4。傳感頭內(nèi)部的饋入裝置和皮拉尼采用全陶瓷涂層，增強(qiáng)了耐腐蝕性。
優(yōu)勢(shì)
•在惡劣環(huán)境下，使用壽命長(zhǎng)
•可靠的快速點(diǎn)火
•低雜散磁場(chǎng)
•可選測(cè)量電流
•快速維護(hù) — 可更換電離室
•耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件
•EtherCAT和RS232/RS485數(shù)字接口
•緊湊尺寸，易于集成
•2個(gè)繼電器設(shè)定點(diǎn)(MxG55x)
應(yīng)用范圍
•基礎(chǔ)壓力監(jiān)測(cè)和控制，在蒸發(fā)和濺射鍍膜應(yīng)用中，測(cè)量范圍從大氣壓到高真空。
•一般真空測(cè)量 — 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導(dǎo)體、生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室。
•分析和研發(fā)應(yīng)用 — 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學(xué)、醫(yī)療和高能物理。 |
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