光學(xué)等離子體真空計
OPG550光學(xué)等離子體真空計
INFICON Augent™光學(xué)等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監(jiān)測解決方案。體積小巧的Augent™集兩種傳感器技術(shù)于一身。進行氣體類型監(jiān)測時，壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴；總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent™自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器，當(dāng)壓力超出20巴時可以關(guān)閉等離子體。
在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內(nèi)，該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。
優(yōu)勢
•高速檢漏，可進行試驗箱泄漏檢查
•提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量
•使用壽命長，燈絲不易燒毀，防空氣侵入
•耐過程化學(xué)腐蝕
•采用智能算法，易于集成
•結(jié)構(gòu)緊湊，空間占用小
•啟動快速可靠
應(yīng)用范圍
•試驗箱泄漏檢查，提供更快的RoR (上升速率)試驗速度
•進行泄漏檢查，以查找供氣管路的內(nèi)部泄漏
•實時端點控制
•氣體類型和濃度控制 |
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