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實驗室PECVD化學氣相沉積設備高校實驗室等離子模塊

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公　司：鄭州科創實驗儀器設備有限公司

發布時間：2023年02月15日

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實驗室PECVD化學氣相沉積設備# #高校實驗室等離子模塊

等離子體是由陽離子、中性粒子、自由電子等多種不同性質的粒子所組成的電中性物質，其中陰離子（自由電子）和陽離子分別的電荷量相等，這就是物理學上所謂“等離子”。等離子體內移動中的粒子會產生電磁場，并影響著該物質內每顆帶電粒子的運動，這使等離子體擁有一些特殊的性質，而這些性質也定義了何謂等離子體。

PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點，工藝流程簡單，與傳統CVD系統比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

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