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ACM200電容薄膜真空計ACM200-13TBA

ACM200電容薄膜真空計ACM200-13TBA//ACM200電容薄膜真空計ACM200-13TBA

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公　司：成都四洋科技有限公司

發布時間：2024年10月22日

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公司主頁：	http://siyangkeji.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

ACM200 電容薄膜壓力計，通常安裝在真空腔體或管道上，讀取實時壓力，±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的，廣泛用于半導體工程和真空工業設備。

特點
直接測量方式測量壓力
無關氣體組分影響
可應用于腐蝕性氣體環境，適合于各類制程應用
可搭配Atovac儀表，實時顯示
測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr，覆蓋大多數制程壓力范圍

規格
壓力范圍（滿量程） 1、2、10、100、1000
*低壓力 0.01%滿量程
精度 ±0.25%讀數
可選：±0.15%讀數
溫度效應
零點
跨度
0.002% 滿量程/°C
0.02% 讀數/°C
工作環境溫度 0℃至50℃
暴露于氣體中的材料鉻鎳鐵合金
泄漏率 1x10-8sec/sec He 
*大壓力 310Kpa
電源要求 ±15VDC (±5%) @ 35 mA
輸出信號 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
法蘭 8 VCR, NW16K

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