該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動控制，設(shè)計符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。
離子濺射儀在掃描電鏡中應(yīng)用十分廣泛,通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導(dǎo)電樣品的荷電現(xiàn)象,并提高觀測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進行蒸碳,實現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。
磁控濺射優(yōu)點
(1)沉積速率快,沉積效率高,適合工業(yè)生產(chǎn)大規(guī)模應(yīng)用;
(2)基片溫度低,適合塑料等不耐高溫的基材鍍膜;
(3)制備的薄膜純度高、致密性好、薄膜均勻性好、膜基結(jié)合力強;
(4)可制備金屬、合金、氧化物等薄膜;
樣品臺更換簡單：標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標準樣品臺高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。 |
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