該產(chǎn)品為臺(tái)式磁控濺射鍍膜機(jī),能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動(dòng)控制,設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。
產(chǎn)品特點(diǎn):
7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速
通過(guò)觸摸屏中直觀檢測(cè)數(shù)據(jù)和曲線;歷史頁(yè)面可顯示300個(gè)歷史涂層信息。
可控鍍膜速率,可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
可手動(dòng)或自動(dòng),根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射
樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單:標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn);行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來(lái)好的噴金效果。 |
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