產(chǎn)品描述
PT2R70-060S開發(fā)θxθz軸進行超高精度定位的應(yīng)用。可提供0.3mrad的行程和亞微弧度的分辨率;低移動質(zhì)量和優(yōu)化的閉環(huán)控制可為高速應(yīng)用提供出色的響應(yīng)時間。
PT2R70-060S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺通過壓電陶瓷驅(qū)動進行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計,產(chǎn)品較高的偏轉(zhuǎn)精度和高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇。
采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu),可以滿足高的動態(tài)性能和高的平面導(dǎo)向精度。
平臺特點體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。被廣泛的應(yīng)用于粒子跟蹤、光鑷、光束穩(wěn)定、掃描顯微鏡等領(lǐng)域。平臺可帶載5kg負載使用。
產(chǎn)品特性
—偏轉(zhuǎn)角度:0.3mrad
—優(yōu)異的位置穩(wěn)定性及納弧度級分辨率
—θxθz 二維偏轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn)運動
—超精度柔性鉸鏈設(shè)計
—內(nèi)部集成應(yīng)變片傳感器
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及定制其它固定方式
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制鏡片轉(zhuǎn)接工裝
應(yīng)用領(lǐng)域
—圖像處理/穩(wěn)定
—激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)
—激光調(diào)諧、激光束穩(wěn)定
—光學(xué)過濾器/開關(guān)
—干涉測量 |
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