產(chǎn)品描述
PT2T125-160S開發(fā)用于需要在光學(xué)檢查和成像系統(tǒng)中對(duì)鏡子進(jìn)行超高精度定位的應(yīng)用。反射鏡簡(jiǎn)單地固定在平臺(tái)的傾斜平臺(tái)上，可提供> ±1mrad的行程和亞微弧度的分辨率；低移動(dòng)質(zhì)量和優(yōu)化的閉環(huán)控制可為高速應(yīng)用提供出色的響應(yīng)時(shí)間。
PT2T125-160S可單軸使用，型號(hào)為PT1T125-160S。
PT2T125-160S是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的偏轉(zhuǎn)臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，補(bǔ)償量小，確保了平臺(tái)極佳的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性。
平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。中空式超薄設(shè)計(jì)，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。
可選擇內(nèi)置位置傳感器。集成在壓電偏轉(zhuǎn)鏡中的傳感器是測(cè)量線性位移的線性傳感器。閉環(huán)傳感器可選擇應(yīng)變片式傳感器或電容位置傳感器，可獲得更高的定位精度。
產(chǎn)品特性
—中空尺寸80x80mm
—優(yōu)異的位置穩(wěn)定性及亞毫弧度級(jí)分辨率
—θxθy 二維偏轉(zhuǎn)
—閉環(huán)光束偏轉(zhuǎn)角度≥±0.8 mrad
—內(nèi)部集成應(yīng)變片傳感器
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及定制其它固定方式
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制鏡片轉(zhuǎn)接工裝
應(yīng)用領(lǐng)域
—圖像處理/穩(wěn)定
—激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)
—激光調(diào)諧、激光束穩(wěn)定
—光學(xué)過濾器/開關(guān)
—干涉測(cè)量 |
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光學(xué)儀器
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