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PFB壓電物鏡聚焦臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

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公　司：上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

發(fā)布時(shí)間：2022年05月29日

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詳細(xì)說明

產(chǎn)品描述
PFB-050U/100U是重載設(shè)計(jì)直接驅(qū)動(dòng)型的壓電陶瓷物鏡聚焦平臺(tái)，是專門用于顯微鏡物鏡的精確定位設(shè)計(jì)。典型應(yīng)用為半導(dǎo)體晶圓切割領(lǐng)域，它設(shè)計(jì)行程為50/100μm的兩種規(guī)格。便于用戶選擇適合的產(chǎn)品。PFB-050U/100U的應(yīng)用范圍包括：Z向移動(dòng)，3D成像，自動(dòng)對(duì)焦或與我們提供的XY納米位移臺(tái)設(shè)備一起使用。PFC-050U/100U本體由鋁，鋼和黃銅制成，閉環(huán)配有穩(wěn)定性的傳感器采用全閉環(huán)配置。
黃銅安裝環(huán)可以輕松更換，以使每個(gè)物鏡都適合PFC納米定位器。可用的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等，也可以按需定制。本系列產(chǎn)品可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)更好的聚焦穩(wěn)定性。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，可帶動(dòng)較大物鏡的高動(dòng)態(tài)定位和掃描。
可選的應(yīng)變測(cè)量反饋閉環(huán)操作版本，采用高分辨率應(yīng)變測(cè)量位置傳感器，具有高精度和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，也補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變特性，閉環(huán)裝置可以用于開環(huán)或閉環(huán)控制。
產(chǎn)品特性
—位移：50μm/100μm（閉環(huán)）
—螺紋尺寸：W0.8x1 / 36“至M38x0.75
—適用于質(zhì)量達(dá)1Kg專用物鏡
—高重載型應(yīng)用設(shè)計(jì)
—高動(dòng)態(tài)應(yīng)用
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及固定方式
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇定制其它螺紋規(guī)格
應(yīng)用領(lǐng)域
—半導(dǎo)體晶元切割、半導(dǎo)體測(cè)試、生物技術(shù)
—自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、測(cè)量技術(shù)
—干涉測(cè)量、篩選
—3D成像、共聚焦顯微鏡
—光學(xué)圓盤顯微鏡、超分辨率顯微鏡

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