產品描述
PFB-050U/100U是重載設計直接驅動型的壓電陶瓷物鏡聚焦平臺，是專門用于顯微鏡物鏡的精確定位設計。典型應用為半導體晶圓切割領域，它設計行程為50/100μm的兩種規格。便于用戶選擇適合的產品。PFB-050U/100U的應用范圍包括：Z向移動，3D成像，自動對焦或與我們提供的XY納米位移臺設備一起使用。PFC-050U/100U本體由鋁，鋼和黃銅制成，閉環配有穩定性的傳感器采用全閉環配置。
黃銅安裝環可以輕松更換，以使每個物鏡都適合PFC納米定位器。可用的標準產品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等，也可以按需定制。本系列產品可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統可實現更好的聚焦穩定性。它們的剛性可實現高負載能力，可帶動較大物鏡的高動態定位和掃描。
可選的應變測量反饋閉環操作版本，采用高分辨率應變測量位置傳感器，具有高精度和可重復的運動，也補償壓電陶瓷的蠕變特性，閉環裝置可以用于開環或閉環控制。
產品特性
—位移：50μm/100μm（閉環）
—螺紋尺寸：W0.8x1 / 36“至M38x0.75
—適用于質量達1Kg專用物鏡
—高重載型應用設計
—高動態應用
選配功能
—可定制轉接裝置及固定方式
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可選擇定制其它螺紋規格
應用領域
—半導體晶元切割、半導體測試、生物技術
—自動聚焦系統、測量技術
—干涉測量、篩選
—3D成像、共聚焦顯微鏡
—光學圓盤顯微鏡、超分辨率顯微鏡 |
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