產(chǎn)品描述
PK3L80-200U擁有三種不同行程運動軸產(chǎn)品，均采用柔性機械設(shè)計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動，適用于高運動平面度和直線度的納米定位及掃描領(lǐng)域。
PK3L80-200U系列非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)及科研和工業(yè)中的樣本操作和定位，也適用于透射光應(yīng)用。
可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響，PK3L80-200U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。
本產(chǎn)品具有亞納米性能。壓電納米臺均可提供閉環(huán)反饋（-S）或開環(huán)（無反饋）。獨特的位置傳感器具有更高的線性度及重復定位精度。
壓電平臺可定制轉(zhuǎn)接板與面包板光學平臺上進行固定。壓電平臺可根據(jù)要求提供定制材料和真空制備版本。
產(chǎn)品特性
—XYZ*大位移：200x200x200μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：Ø35mm
—*大承載能力：0.6Kg
—超緊湊型設(shè)計
—平行運動導向結(jié)構(gòu)
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制中心孔徑大小
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術(shù)
—顯微操縱 |
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光學儀器
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