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公　司： 上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司 
發(fā)布時(shí)間：2022年05月29日
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石莉 女士 (經(jīng)理)
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    產(chǎn)品描述
PK3L80-200U擁有三種不同行程運(yùn)動(dòng)軸產(chǎn)品，均采用柔性機(jī)械設(shè)計(jì)而實(shí)現(xiàn)了無(wú)間隙的平行運(yùn)動(dòng)，適用于高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位及掃描領(lǐng)域。
PK3L80-200U系列非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)及科研和工業(yè)中的樣本操作和定位，也適用于透射光應(yīng)用。
可以選擇使用集成的SGS測(cè)量系統(tǒng)來(lái)克服遲滯的影響，PK3L80-200U壓電掃描臺(tái)可以輕松地與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。
本產(chǎn)品具有亞納米性能。壓電納米臺(tái)均可提供閉環(huán)反饋（-S）或開(kāi)環(huán)（無(wú)反饋）。獨(dú)特的位置傳感器具有更高的線性度及重復(fù)定位精度。
壓電平臺(tái)可定制轉(zhuǎn)接板與面包板光學(xué)平臺(tái)上進(jìn)行固定。壓電平臺(tái)可根據(jù)要求提供定制材料和真空制備版本。
產(chǎn)品特性
—XYZ*大位移：200x200x200μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：Ø35mm
—*大承載能力：0.6Kg
—超緊湊型設(shè)計(jì)
—平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制中心孔徑大小
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)
—顯微操縱


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