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Z軸壓電陶瓷掃描臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

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公　司：上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

發(fā)布時(shí)間：2022年05月29日

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詳細(xì)說(shuō)明

產(chǎn)品描述
PKVL70-080U/160U/240U為定制型產(chǎn)品，專(zhuān)為有空間限制應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，超緊湊尺寸、超低外形結(jié)構(gòu)，便于安裝集成在設(shè)備中。多種規(guī)格產(chǎn)品行程便于用戶在不同應(yīng)用場(chǎng)合進(jìn)行選擇對(duì)應(yīng)產(chǎn)品。
壓電掃描臺(tái)移動(dòng)面可放置物鏡進(jìn)行Z軸物鏡聚焦操作，可提高圖像分辨率。移動(dòng)面可以預(yù)定制多種安裝接口尺寸，方便各種轉(zhuǎn)接工裝的集成。
顯微鏡中的探頭對(duì)準(zhǔn)通常需要一個(gè)開(kāi)放的中心空間（例如，用于通過(guò)光），針對(duì)此類(lèi)應(yīng)用開(kāi)發(fā)了該系列掃描臺(tái)，該平臺(tái)具有35 mm的中心孔。該壓電系統(tǒng)非常適合于動(dòng)態(tài)應(yīng)用，可以使用集成的位置傳感測(cè)量系統(tǒng)來(lái)克服光刻的影響。
壓電掃描臺(tái)可輕松與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用，非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。
PKVL70-080U/160U/240U壓電陶瓷掃描臺(tái)可選擇位置反饋閉環(huán)控制的版本，閉環(huán)版本品無(wú)遲滯和蠕變特性具有更高的位置線性精度和重復(fù)定位精度。
產(chǎn)品特性
—Z位移：80μm/160μm/240μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：Ø35mm
—*大承載能力：800g
—緊湊型設(shè)計(jì)
—高精度柔性導(dǎo)向
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇XYZ軸版本（80μm）
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)
—顯微操縱

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