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X、Y軸壓電陶瓷納米臺-上海納動納米位移技術有限公司

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公　司：上海納動納米位移技術有限公司

發布時間：2022年05月29日

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石莉女士 (經理)

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電　　話： 021-54668263 傳　　真： 021-54668263 手　　機： 19921055512 地　　址：中國上海徐匯區上海市徐匯區虹梅路2008號3幢3層郵　　編： 20032
公司主頁：	http://nanomotions.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

產品描述
PS2H45系列由兩維X軸疊加組合，沿X，Y軸提供12、30、50、70或100 μm的運動范圍。（標準產品行程為12μm，其它行程均可定制）。
PS2H45系列納米定位器是我們高速產品線的一部分，可提供大功率控制器，使其進行超高速驅動運動。
PS2H45-012U系列是具有納米級定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統。本系列產品提供*大的多功能性。可選配內部位置傳感器進行閉環，可進行重復的位置測量。
體積小，具有超高諧振頻率，高穩定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應用。參數可根據客戶要求定制。
PS2H45-012U系列壓電陶瓷元件直接移動工作臺面，具有高剛性，即使在高負載下可實現穩定定位。
產品特性
—高速1ms響應，多軸定位
—超快的響應時間
—亞納米范圍內的高分辨率
—高度緊湊的設計帶來卓越的性能
選配功能
—可定制固定、負載安裝孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可提供XZ/XYZ版本
應用領域
—高運動平面度和直線度的納米定位
—測量、計量
—掩模/晶圓定位
—表面測量技術

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