產(chǎn)品描述
PS1H60-024U是一款多功能的緊湊型納米定位器，可以配置以適應(yīng)多種應(yīng)用。可以將各個單軸平臺組合起來以形成多軸系統(tǒng)。通過轉(zhuǎn)接轉(zhuǎn)可組成XY二維運(yùn)動平臺。方便用戶升級與維護(hù)。PS1H60-024U壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)機(jī)構(gòu)的一維運(yùn)動的壓電位移平臺，無摩擦、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。本產(chǎn)品的運(yùn)動范圍為30μm（開環(huán)）。其他行程可以根據(jù)要求進(jìn)行定制。PS1H60-024U本體由鋁材質(zhì)構(gòu)成，用戶可選擇殷鋼或鈦制成，并可以進(jìn)行定制以適應(yīng)獨(dú)特的要求，但是參數(shù)表中給出的為鋁材質(zhì)條件下測得數(shù)據(jù)。
壓電平臺負(fù)載能力高達(dá)8kg，該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實(shí)現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺或其他組件上，請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應(yīng)避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會損壞位移臺。
產(chǎn)品特性
—高速直接驅(qū)動
—大承載8Kg
—閉環(huán)控制
—可堆疊XY運(yùn)動
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接工裝
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可組維、可定制其他行程
應(yīng)用領(lǐng)域
—半導(dǎo)體技術(shù)、精密加工
—干涉儀、測量技術(shù)
—光纖定位、高速鏡頭聚焦
—測試程序、質(zhì)量保證 |
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