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Aerotech ABRT超精密轉臺

Aerotech ABRT超精密轉臺 //Aerotech ABRT超精密轉臺

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公　司：蘇州高控科技有限公司

發布時間：2022年04月30日

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詳細說明

ABRT超精密轉臺

1專為硅片檢測，X射線衍射系統，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計

2無刷無槽伺服電機直接驅動

3突出的速度穩定性，波動率低于萬分之一（電機無接頭效應）

4卓越的運動性能,誤差小,無抖動

5直聯高精度旋轉編碼器

6扁平結構設計

7無機械接觸

臺面直徑100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

雙向重復定位精度<1arcsec

定位精度<2 arc sec

異步軸跳<20nm
更多產品資料請聯系我們：卜振磊 18612885992
異步徑跳<20nm
更多歐美系伺服品牌產品，請咨詢銷售工程師:卜振磊 ①⑧⑥①②⑧⑧⑤⑨⑨②

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