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Aerotech ABL1000氣浮平臺

Aerotech ABL1000氣浮平臺//Aerotech ABL1000氣浮平臺

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公　司：蘇州高控科技有限公司

發布時間：2022年04月30日

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詳細說明

Aerotech ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準和裝配應用設計
2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3閉環分辨率可達0.5nm(使用A3200控制器)
4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設計
行程≤150mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um

ABL10025-25 mm (1 in) travel stage with linear motor
ABL10050-50 mm (2 in) travel stage with linear motor
ABL10100-100 mm (4 in) travel stage with linear motor
ABL10150-150 mm (6 in) travel stage with linear motor

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