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公 司: 深圳市旺達康科技有限公司 
發(fā)布時間:2021年11月29日
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公 司:深圳市旺達康科技有限公司

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    電子級六甲基二硅氮烷HMDS
別名:六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亞胺六甲基二硅氮烷
無色透明液體。易水解,放出NH3,生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下,與醇或酚反應,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。
中文名:六甲基二硅氮烷
英文名:Hexamethyldisilazane
分子式:C6H19NSi2
分子量:161.39
CAS號:999-97-3
EINECS號:213-668-5
用途:
主要用于晶圓制造過程中光致刻蝕劑的粘結助劑。


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