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國(guó)內(nèi)廠家銷售半導(dǎo)體行業(yè)用高純電子級(jí)亞磷酸三甲酯TMPI

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發(fā)布時(shí)間：2021年11月29日

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詳細(xì)說(shuō)明

電子級(jí)亞磷酸三甲酯TMPI
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性質(zhì)
無(wú)色液體，有刺激性臭味，熔點(diǎn)-78℃，沸點(diǎn)111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水緩慢分解為磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圓制造過(guò)程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的重要電子化學(xué)品。

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