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公 司: 深圳市旺達(dá)康科技有限公司 
發(fā)布時(shí)間:2021年11月29日
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公 司:深圳市旺達(dá)康科技有限公司

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詳細(xì)說明

    電子級(jí)正硅酸四乙酯TEOS
名稱 正硅酸四乙酯(TEOS)
化學(xué)式 C8H20O4Si
相對(duì)分子量 208.33
CAS號(hào) 78-10-4
理化性質(zhì) 無色透明液體,熔點(diǎn)-77℃,沸點(diǎn)168.5℃,密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定;微溶于水,在純水中水解緩慢;在酸或堿的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圓制造過程中的化學(xué)氣相沉積(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造所需的電子化學(xué)品。


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