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國內廠家銷售半導體行業用高純電子級正硅酸四乙酯TEOS
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公 司:
深圳市旺達康科技有限公司
發布時間:2021年11月29日
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宋華
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公 司:
深圳市旺達康科技有限公司
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電子級正硅酸四乙酯TEOS
名稱 正硅酸四乙酯(TEOS)
化學式 C8H20O4Si
相對分子量 208.33
CAS號 78-10-4
理化性質 無色透明液體,熔點-77℃,沸點168.5℃,密度0.9346g/ml。在空氣中較穩定;微溶于水,在純水中水解緩慢;在酸或堿的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圓制造過程中的化學氣相沉積(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導體、分立器件、微機電系統(MEMS)制造所需的電子化學品。
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