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國內廠家銷售半導體行業用高純電子級三氯氧磷

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公　司：深圳市旺達康科技有限公司

發布時間：2021年11月29日

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詳細說明

電子級三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性質:
無色透明揮發性液體，具有強烈的刺激性氣味。易水解于潮濕的空氣中，生成磷酸和鹽酸。熔點為1.25℃，沸點為102℃，相對密度為1.675。蒸發熱33.7kJ/mol。接近300℃時，仍很穩定。遇到大量水時會發生爆炸。有毒性和腐蝕性。
四、用途:
主要用于芯片的N型摻雜，是制作集成電路、太陽能電池、光纖預制棒、分離器件等的液態磷源，是芯片制程中必須的電子化學品，同時電子級三氯氧磷也是制作高純磷酸酯的原料。

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