激光器特點
l 長期工作穩定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模塊可現場更換
l TEM00基模輸出（M2<1.3）
l 體積小，結構緊湊
l 重復頻率30kHz-100kHz可調
應用范圍
l 薄膜蝕刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圓切割
l 科學研究等
l 激光標記
技術參數
型號 RM355Q-3W
波長 355nm
功率 3W@30KHz
單脈沖能量 100μJ@30kHz
頻率 30~100kHz
脈寬 <20ns@30KHz
光斑模式 TEM00 (M2<1.3)
光束直徑 0.5±0.1mm
功率穩定性 <3% RMS over 8 hours
脈沖穩定性 <3% RMS over 10mins
光點穩定性 <50μrad
光束發散角 <2mrad (full angle)
光斑圓度 >90%
控制方式 RS232, Gate, Trigger
制冷方式 Air-cooling
偏振方向 Horizontal
偏振比 >100:1
環境溫度 15°C ~ 35°C
相對濕度 10% ~ 80%（無結露）
預熱時間 <15mins
工作電壓 90V ~ 260 |
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光電子器件
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