Simco-Ion 5810i 懸掛型離子風(fēng)機(jī)，設(shè)計(jì)配合關(guān)鍵環(huán)境的要求，擁有業(yè)界領(lǐng)先的離子平衡控制性能；取得ISO Class 4 潔凈房內(nèi)使用的認(rèn)證，在潔凈環(huán)境下，提供優(yōu)越的效能。采用專用的穩(wěn)態(tài)直流電離技術(shù)，能消除 ESD 和所引起的電磁干擾，在先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)施內(nèi)，也可提供離子輸出。能外接感應(yīng)器，隨環(huán)境調(diào)整離子輸出，以達(dá)至和維持 少于 ±1 V 的離子平衡。
5810i 選用 Silicon Free 空氣軸承風(fēng)扇，每個(gè)風(fēng)扇的其他部分和外殼，都是密封和經(jīng)過清潔處理，完全符合現(xiàn)今潔凈房的生產(chǎn)環(huán)境，兼容關(guān)鍵潔凈的制程。如使用的離子風(fēng)機(jī)，不符合潔凈標(biāo)準(zhǔn)，會(huì)有污染制程的風(fēng)險(xiǎn)，降低良率。
5810i 離子風(fēng)機(jī)可利用 AC 輸出接口串聯(lián)其他的 5810i離子風(fēng)機(jī)共同工作，多可串聯(lián)十臺(tái)。
特點(diǎn)
±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達(dá)至±1 V)
選配的外接感應(yīng)器，設(shè)備監(jiān)控接口，報(bào)警和控制管理
選配的自動(dòng)清潔系統(tǒng)
優(yōu)點(diǎn)
在電暈放電技術(shù)的靜電防護(hù)中，提供保護(hù)和產(chǎn)出
提供瞬時(shí)報(bào)警通知，和避免擅自調(diào)整效能和風(fēng)速
自動(dòng)清潔靜電針組，減少維護(hù)時(shí)間和成本
±1V 操作
5810i 離子風(fēng)機(jī)的選配外接感應(yīng)器, 可接連Novx Process Monitor 7000 系列，Novx 被動(dòng)檢測系統(tǒng) 3352 系列，和Novx 主動(dòng)檢測系統(tǒng)3362 系列，作出檢測和自動(dòng)調(diào)整離子平衡。把天線放到目標(biāo)位置， 信號(hào)會(huì)回饋到 5810i的控制線路，以達(dá)到和維持離子平衡在±1 V或更好的效能。 |
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