氮化鋯(ZrN)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發料
【參數說明】
支持靶材定制,請提供靶材產品的元素、比例(重量比或原子比)、規格,我們會盡快為您報價!! 
【產品介紹】
氮化鋯(Zr-N)化合物隨著成份的變化而有多種晶體結構,如:在Zr-N合金體系中,已發現的合金化合物有ZrN、o-Zr3N4、c-Zr3N4。它們不但具有優異的化學性質,不僅可以用在Josephson結,擴散式迭層,低溫度計等,還可以使用在三維集成電線圈,金屬基晶體管上。同時這些Zr-N化合物在耐磨、抗氧化和抗腐蝕等方面優于純鋯,而且具有較高的超導臨界溫度,所以可以有可能成為很好的超導體,具有很高的使用價值。
中文名 氮化鋯 熔點 2980±50℃
化學式 ZrN 密度 7.09克/立方厘米
分子量 105.23
【關于我們】
服務項目:靶材成份比例、規格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質量保證,售后無憂!
產品附件:發貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝
適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發設備 
質量控制:嚴格控制生產工藝,采用輝光放電質譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質檢報告。 
加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫
陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差,連續長時間濺射易發生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注 :高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。
我公司主營金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材,歡迎您的垂詢。 |
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