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微流芯片真空熱壓鍵合機 微流芯片真空熱壓鍵合機//微流芯片真空熱壓鍵合機

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公 司: 普特勒電氣科技(招遠)有限公司 
發布時間:2021年05月25日
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公 司:普特勒電氣科技(招遠)有限公司

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詳細說明

    真空熱壓鍵合機技術規格書
PTL-JH3型

產品特點及技術參數:

產品特點:本系統根據芯片鍵合應用的需要進行設計,細節方面更適合于芯片鍵合領域的使用特點。系統已在眾多進行微流控芯片研發生產的科研院所及企業得到應用,技術成熟,運行穩定。

(1)采用恒溫控制加熱技術,溫度控制準確;
(2)采用高強度鋁合金工作平臺,工作面平整光滑,熱導速度快,熱導均一;
(3)加熱面積大,涵蓋常用大小芯片;
(4)采用水冷降溫,降溫速度快、速率均一,有利于提高鍵合效果;
(5)壓力可調,針對不同的材料選用不同的壓力控制;
(6)采用獨特的真空熱壓系統,在保證芯片不損壞的情況下大幅度提高鍵合成功率。
技術參數:
1、外形尺寸:575×475×610(長×寬×高)mm;
2、主機重量:約90kg;
3、鍵合平臺:150*150(長×寬)mm;
4、可鍵合芯片:0~140mm;
5、額定電壓:AC220V/50HZ
6、壓力范圍:0~3kN;
7、設備功率:總功率4KW(含真空泵和空壓機);
8、額定*高溫度:250℃


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