廣州回收AVAGO芯片電源模塊 隨著采用傳統2D平面制程技術的NAND Flash即將NAND Flash大廠紛紛開始采用3D堆疊制程技術來增加密度。旺宏(Macronix)在2006年提出Multi TFT(Thin Film Transistor)的堆疊NAND設計概念,同年Samsung也發表Stacked NAND堆疊式快閃存儲器,2007年東芝發表BiCS,2009年東芝發表P-BiCS、三星發表TCAT、VG-NAND與VSAT,2010年旺宏發表VG TFT,2011發表PNVG TFT,同年Hynix也發表Hybrid 3D技術。2010年VLSI研討會,旺宏公布以75納米制程,TFT BE-SONOS制程技術裝置的VG(垂直閘) 3D NAND技術。預計2012年進入55nm制程,2013年進入36nm制程,2015年進入2xnm制程,制程進度落后其他大廠甚多。
三星(Samsung)同樣于2006年發表Stacked NAND,2009年進一步發表垂直通道TCAT與水平通道的VG-NAND、VSAT。2013年8月,三星發布名為V-NAND的3D NAND Flash芯片,采用基于3D CTF(Charge Trap Flash)技術和垂直堆疊單元結構,單一芯片可以集結、堆疊出128 Gb的容量,比目前20nm平面NAND Flash多兩倍,可靠性、寫入速度也比20nm制程NAND Flash還高。三星目前在3D-NAND Flash應用進度其他業者,V-NAND制造基地將以韓國廠與新設立的西安廠為主。其V-NAND目標直接揮軍伺服器等級固態硬碟,從2013年第四季開始,陸續送樣給伺服器業者或是資料中心制造商進行測試。
東芝(Toshiba)以2009年開發的BiCS—3D NAND Flash技術,從2014年季起開始小量試產,目標在2015年前順利銜接現有1y、1z納米技術的Flash產品。為了后續3D NAND Flash的量產鋪路,東芝與新帝(SanDisk)合資的日本三重縣四日市晶圓廠,期工程擴建計劃預計2014年Q3完工,Q3順利進入規模化生產。而SK海力士與美光(Micron)、英特爾(Intel)陣營,也明確宣告各自3D NAND Flash的藍圖將接棒16納米,計劃于2014年Q2送樣測試,快于年底量產。
由于3D NAND Flash存儲器的制造步驟、工序以及生產良率的提升,要比以往2D平面NAND Flash需要更長時間,且在應用端與主芯片及系統整合的驗證流程上也相當耗時,故初期3D NAND Flash芯片將以少量生產為主,對整個移動設備與儲存市場上的替代效應,在明年底以前應該還看不到。
移動設備的快閃存儲器容量、速率進展
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