臺灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計(jì)和制造溫度測量解決方案，保證為您提供靈敏度、快速響應(yīng)和一致的精度。臺灣菘啟工業(yè)有限工公司致力于以世界*流的技術(shù)服務(wù)及時提供其創(chuàng)新的wafer晶圓解決方案。
TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）
溫度范圍：
低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）
高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計(jì)）
熱電偶選型：
● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C
晶圓材質(zhì)：
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。
主要規(guī)格：
4寸，6寸，8寸，12寸
擴(kuò)展線：可指定絕緣層材質(zhì)，接頭類型。密封的聚酰亞胺扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長度有客戶指定
傳感器引線：長達(dá)40英尺–可定制,
被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF
絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰亞胺
線規(guī)：20 AWG – 40 AW |
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