各種濺射靶材的產品例
金屬靶材
高純度金屬
Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn
高熔點金屬合金
Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金
非磁性合金
Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si
磁性合金
Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt
赫斯勒合金
Co, Fe, Ni基赫斯勒合金
Mn系列的合金
Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si
貴金屬合金
Au,Ag,Pt,Pd系列的合金
無機化合物靶材
氧化物
Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3
ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4
碳化物
SiC,B4C,WC
其他化合物
氮化物，氟化物，磷化物，硫化物，硒化物
復合靶材
金屬相
Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各種純金屬・合金
非金屬相
Al2O3, MgO, SiO2等各種氧化物・氮化物
標準尺寸一覽
單位 [mm]
圓球型
直徑
φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4
矩形
平面尺寸
127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508
厚度
ｔ3、ｔ5、ｔ6.3 |
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半導體材料
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