上海伯東日本原裝進口適合大規模量產使用的 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J
Hakuto 離子蝕刻機主要優點:
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.
6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J技術參數
離子蝕刻
Φ4 inch X 12片
基片尺寸
Φ4 inch X 12片
Φ5 inch X 10片
Φ6 inch X 8片
樣品臺
直接冷卻,水冷
離子源
Φ20cm 考夫曼離子源
Hakuto 離子蝕刻機 IBE 通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
NS離子蝕刻機
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