企業錄,供求信息免費發布平臺
 
  首 頁 企業名錄 產品大全 商業機會 企業建站 我的辦公室
手機站
易網站
企業名錄
您當前位置是:產品大全 >> 儀器儀表 >> 實驗儀器裝置
Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100//Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100

瀏覽大圖
公 司: 伯東企業(上海)有限公司 
發布時間:2023年05月05日
留言詢價 加為商友
  聯系信息 企業信息
張婷婷 女士 (銷售工程師)
聯系時,請說是在企業錄看到的,謝謝!
電  話: 021-50463511
傳  真: 021-50461490
手  機: 13918837267
地  址: 中國上海浦東新區上海市外高橋保稅區希雅路33號17號樓B座3層
郵  編: 200131
公司主頁: http://hakuto.qy6.com.cn(加入收藏)
公 司:伯東企業(上海)有限公司

查看該公司詳細資料

詳細說明

    Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 均勻度 < ±5%, 刻蝕速率 >10 nm/min, 具有高冷卻效果.
所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產品的無差錯、高穩定性和高質量.

占用空間小, 容易維護和用戶操作友好.

&#8203;



Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 產品優勢:
1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產品的無差錯、高穩定性和高質量

2. 盒式房間采用**微粒過濾器

3. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

4. 占用空間小

5. 傳輸系統采用了 SCARA 型機器人

6. 控制單元系統提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數據記錄可以顯示在屏幕上

7. 高冷卻效果

8. 良好的重復性和再現性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

9. 容易維護這個系統設計重點是容易維護和用戶友好

10. 關鍵部件服務伯東的經銷商是系統中的關鍵部件渦輪泵系統、離子源提供客戶快速響應時間和本地服務能力,減少停機時間的工具





Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數:

Model MEL3100 Main body
Wafer size 3"~6" Power
Supply AC200V 3ph 40A
Wafer per batch 1 wafer *two lines
Cassette No. 25 wafers Cooling
Water 15 (l/min)
Q'ty 1pc. <20℃
Throughput 10 (wafer/hr) *1 CDA 0.5 (MPa)
Pressure Ultimate 8×10-5 (Pa) *2 >10 (l/min)
Process 2×10-2 (Pa) *2 N2 0.2 (MPa)
Etching Rate >10 (nm/min)@SiO2 *3 >40 (l/min)
Uniformity ±5%@132mm (6") *3 Ar 0.2 (MPa)
Wafer surface temp. <100℃ *3 20 (sccm)
Stage rotating 1~20 (rpm) ±5% He 0.2 (MPa)
Stage tilting ±90°±0.5° 20 (sccm)
Dimension
W×D×H (mm) Main body 1,600×2,175×1,900 *need additional utilities
for Dry pump
Co***oller 640×610×1,900
Chiller 555×515×1,025
Weight (kg) Main body 1,700
Co***oller 200
Chiller 100
*1: Estimated process time 5min
*2: No wafer on stege / process chamber
*3: Depending on process




Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 產品示意圖:






若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :
<


免責聲明:以上所展示的信息由會員自行提供,內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責,www.qy6.com對此不承擔任何責任。如有侵犯您的權益,請來信通知刪除。
該公司其他產品信息
 1 2 直接到第
50 條信息,當前顯示第 1 - 30 條,共 2

機械 儀器 五金 電子 電工 照明 汽摩 物流 包裝 印刷 安防 環保 化工 精細化工 橡膠塑料 紡織 冶金 農業 健康保養 建材 能源 服裝 工藝品 家居用品 數碼 家用電器 通訊產品 辦公 運動、休閑 食品 玩具 商務 廣告 展會
1 2 3 4 5 6 7 .. 聯系人:張婷婷 電話:021-50463511

關于我們 | 網站指南 | 廣告服務 | 誠招代理 | 誠聘英才 | 付款方式 | (企業錄)聯系方式 | 友情鏈接 | 網站地圖
主站蜘蛛池模板: 欧美成人高清手机在线视频| 无遮挡韩国成人羞羞漫画网站| 国产成人一级片| 色偷偷成人网免费视频男人的天堂| 国产成人一区二区在线不卡| 国产成人8X视频网站入口| 一级成人a毛片免费播放| 亚洲成人xxx| 成人国产在线24小时播放视频| 性欧美成人免费观看视| 人碰人碰人成人免费视频| 中文国产成人久久精品小说| 成人性生话视频| 久久久成人影院| 国产成人一区二区三区电影网站 | 成人性开放大片| 国产成人精品曰本亚洲78| 久久成人国产精品| 成人怡红院视频在线观看| 久久久www成人免费精品| 国产成人亚洲欧美激情| 国产成人精品综合在线观看| 欧美日韩在线成人| 亚洲av午夜成人片精品网站| 国产成人精品福利网站人| 成人品视频观看在线| 成人免费av一区二区三区| 久久久成人影院| 国产成人+综合亚洲+天堂| 国产成人综合久久| 日本在线观看成人小视频| 青青草成人影院| 99国产精品久久久久久久成人热| 国产91青青成人a在线| 国产成人久久精品区一区二区| 国产成人精品综合在线观看| 国产成人污污网站在线观看| 国产成人年无码AV片在线观看| 国产成人高清亚洲一区app| 成人毛片在线观看| 小明发布永久在线成人免费|