本產品采用具有自主知識產權的MEMS氣體質量流量傳感器技術，能根據用戶的需求提供精確的在線流量計量。傳感器系采用獨特的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有極高的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達65m/sec。針對不同的應用，傳感器可用于測量氣體的質量流量、體積流量及 介質流速。專門設計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。
不同于其它MEMS傳感技術，單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質直接接觸以提高其可靠性。當沒有氣體介質流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場（溫度分布）。當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質質量流速。介質質量流速則可換算成體積流速及累計介質體積流量。
二、流量芯片測量原理
MEMS氣體質量流量計是基于熱擴散原理的氣體流量測量儀表，它無須溫壓補償，直接測出流體的質量流量。它的突出特點是：可以直接進行貿易結算；沒有活動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單；操作方便。
金氏定律即熱擴散原理。金氏定律：流過熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法。可用表達式來具體說明：
P/ △ T=A+B（Q）m
其中P表示消耗功率；△T表示兩個傳感器之間的溫度差；
Q表示質量流量；m表示指數系數，
A，B是與氣體物理性質有關的常數。
三、產品應用
● 科教實驗室
● 醫療單位
● 電子單位
● 各種高純氣體的測量
● 各種相關產品配套使用
● 供氣計量核算
● 相關行業工廠使用
四、技術參數
量程比 100:1
精度 1.5級
重復性 ±0 .75%
響應時間 <1秒
工作電源 12~24VDC
輸出方式 485
*大流量壓損 100Pa
*大工作壓力 1.0MPa
工作溫度 -10~+55℃
儲存溫度 -20~+65℃
工作濕度 10~95%RH(無結露，無凝露)
過程連接 卡套式緊固件
適用介質 不含水分的氣體
凡是用于空氣、天然氣和管道 |
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