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XCTG-5+1、XCTG-6～9+2

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公　司：佛山市南海羅村炫辰鈦金廠

發(fā)布時(shí)間：2016年01月21日

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孟先生先生 (經(jīng)理)

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電　　話： 0757-86138568 傳　　真： 0757-86138569 手　　機(jī)： 13927750658 地　　址：中國廣東佛山市佛山市機(jī)場(chǎng)路聯(lián)合工業(yè)東區(qū)三路12號(hào) 郵　　編： 528226
公司主頁：	http://xuanchen.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細(xì)說明

XCTG-5+1 XCTG-6～9+2
鍍膜室規(guī)格 ∮700～800mm×800～880mm ∮900～1000mm×1000～1200mm
極限真空度 ≤7.6×10-4Pa
冷態(tài)抽真空時(shí)間從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘
機(jī)組配置 KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-400/ KT-500擴(kuò)散泵機(jī)組
靶配置 5個(gè)電弧靶1個(gè)磁控靶 6-9個(gè)電弧靶2個(gè)磁控靶
配電要求 KW KW
設(shè)備用途適用于各類工具鍍鍍膜要求，可鍍制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜層
備注可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)專用設(shè)備。可加裝磁控靶、中頻孿生對(duì)靶等。

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