世界*高水平的
高精度・高速・高分辨率
高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?
●應(yīng)用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)，開發(fā)出分辨
率0.31nm的高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。
●動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評(píng)價(jià)大范
圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀，是一款劃時(shí)代的
產(chǎn)品。
只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析
●可在保持高精度的同時(shí)提高測(cè)量效率。
大量程
●橫向200mm，縱向13mm，測(cè)量范圍大。
●可±45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜
（SURFCOM CREST-T型號(hào)）
在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá) 已取得專利
●憑借線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了高精度·高速移動(dòng)。
●電子低振動(dòng)化穩(wěn)定，可以實(shí)現(xiàn)高倍率測(cè)定。
只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析
●可在保持高精度的同時(shí)提高測(cè)量效率。
大量程
●橫向200mm，縱向13mm，測(cè)量范圍大。
●可±45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜
（SURFCOM CREST-T型號(hào)） |
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電子測(cè)量?jī)x器
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