靜電水駐極/靜電駐極設備/靜電熔噴布純水（靜電與水駐極所用超純水設備）
超純水裝置供給原水進入EDI系統，主要部分流入樹脂、膜內部，而另一部分沿膜板外側流動，以洗去透出膜處的離子，樹脂截留水中的容存離子，被截留的離子在電極作用下，陰離子向正級方向運動，陽離子向負極方向運動，陽離子透過陽離子膜，排出樹脂、膜之外，陰離子透過陰離子膜，排出樹脂、膜之外，濃縮了的離子從廢水流路中排出，無離子水從樹脂/膜內流出。
半導體生產用超純水備工藝
1預處理-反滲透-0水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
2.預處理-一級反滲透-加藥機（PH調節）-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
3.預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純
水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
4.預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象（新工藝）
1.選用高性級離子交換樹脂，工作交換容量大，能耗低，使用壽命長。
2控制部分全部采用進口控制器，保障設備持續安全運行。
3.全自動控制系統，出水穩定，使用操作方便快捷。
結構合理，安裝操作方便。
可根據實際使用需求，水處理設備個性化設計相應設備。
半導體行業用超純水設備采用PLC+觸摸屏控制，全套系統自動化程度高，系統穩定性高。大大節省人力成本和維護成本，水利用率高，運行可靠，經濟合理。使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
為滿足用戶需要，達到符合標準的水質，盡可能地減少各級的污染，延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量，在工藝設計上，取得國家自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換溫床（EDI電除鹽系統）系統等。系統中水箱均設有液體控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選票上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
超純水設置的工藝流程1：原水箱、原水泵、石英砂、活性炭、軟化、保安過濾器、一級增加泵、一級RO膜、中間水箱、二級增加泵、二級RO膜、純水箱、輸送泵、EDI、超純水箱、使用點（濃水箱+日用或排放）
超純水設置的工藝流程2：原水箱、原水泵、石英砂、活性炭、軟化、保安過濾器、一級增加泵、一級RO膜、中間水箱、二級增加泵、二級RO膜、純水箱 |
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