產品用途
適用于 2寸～6寸硅片去膠清洗
整機構造
骨架：進口10mmPP板，優質不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；
外殼：進口10mmPP板；
安全門：采用透明上下推拉門；
管路：管路位于下后部，以節省空間，采用英制接口；
滅火系統：煙熱感應CO2自動滅火系統位于工作臺面上部；
排風：根據流體學原理設計位于機臺后上部，并配有導流和風量調節裝置；
工作照明：機臺上方配照明（與工作區隔離）；
臺面板為優質不銹鋼材質（帶有漏液孔）；
DI/N2 GUN：可伸縮的DI水槍和氣槍各2把，分置于工作區兩側；
人機界面：Touch Screen彩色界面；
支腳：有滑輪裝置和固定裝置，可調整高度和鎖定；
三色報警等和蜂鳴器
控制系統
PLC可程式控制器（歐姆龍）＋Touch Screen彩色人機界面操作。
制程參數皆采用可設定、修改；
操作模式可分為自動/手動/編輯/維修。
配有獨立配電箱，電路區進行功能分塊，強電、弱電塊，以便于維護；
具Password功能以避免操作人員誤改參數：
Password-1.啟動及可進入自動模式內容。
Password-2可進入編輯模式修改制程參數。
Password-3可進入手動模式。 |
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