供液系統簡稱CDS
主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備,具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能
控制模式:手動模式,自動模式
系統主要功能概述
每種化學液體配兩個桶(自動切換)配 兩臺泵(一備一用)
CDS 系統皆有PLC 作Unit 內部制程控制,操作界面流程方式執行兼具自動化與易用性
自動模式下可自行達成供酸功能
在手動模式及維修模式下可針對單一自動原件操作
操作模式：
CDS 系統皆有PLC 作Unit 內部流程控制，操作介面以流程方式執行，
兼具自動化與親和力。
在自動模式情形下可自行達成供酸之功能。
在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。
設備結構：
（1）機架(Frame)：盤底SUS 方管50x50x1.5T 與機體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構而成，具有調整腳座。
（2）外觀：酸堿類系統的外觀以WPP 被覆。
（3） 箱體
1. Sample Box /Tee Box /Valve Box VMB規范
(一) 箱體材質型式
i. 供腐蝕性化學品用之材質為WPP/ 透明PVC。
(二) 閥體材質型式
i. 供腐蝕性化學品用之材質為PFA或PTFE。
(三) 泄漏偵測型式
i. 采靜電容式或光電式，須能耐酸鹼之浸泡。
(四) 分流箱(VMB)必要設施說明
i. 箱體外部須清楚標示其所輸送化學品之名稱與化學式。
設備內部空間規劃：
（1）配管區：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄漏功能。
（2）電控區：完全密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。
（3）取樣區：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄漏功能。
（4）桶槽區：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動，有正壓及排氣功能，保持區域內之潔凈度，下方有排放泄漏功能。 |
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