供液系統(tǒng)簡稱CDS
主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設(shè)備,具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能
控制模式:手動模式,自動模式
系統(tǒng)主要功能概述
每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)配 兩臺泵(一備一用)
CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部制程控制,操作界面流程方式執(zhí)行兼具自動化與易用性
自動模式下可自行達成供酸功能
在手動模式及維修模式下可針對單一自動原件操作
操作模式：
CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，
兼具自動化與親和力。
在自動模式情形下可自行達成供酸之功能。
在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。
設(shè)備結(jié)構(gòu)：
（1）機架(Frame)：盤底SUS 方管50x50x1.5T 與機體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構(gòu)而成，具有調(diào)整腳座。
（2）外觀：酸堿類系統(tǒng)的外觀以WPP 被覆。
（3） 箱體
1. Sample Box /Tee Box /Valve Box VMB規(guī)范
(一) 箱體材質(zhì)型式
i. 供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為WPP/ 透明PVC。
(二) 閥體材質(zhì)型式
i. 供腐蝕性化學(xué)品用之材質(zhì)為PFA或PTFE。
(三) 泄漏偵測型式
i. 采靜電容式或光電式，須能耐酸鹼之浸泡。
(四) 分流箱(VMB)必要設(shè)施說明
i. 箱體外部須清楚標(biāo)示其所輸送化學(xué)品之名稱與化學(xué)式。
設(shè)備內(nèi)部空間規(guī)劃：
（1）配管區(qū)：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄漏功能。
（2）電控區(qū)：完全密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。
（3）取樣區(qū)：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄漏功能。
（4）桶槽區(qū)：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動，有正壓及排氣功能，保持區(qū)域內(nèi)之潔凈度，下方有排放泄漏功能。 |
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