1.產(chǎn)品名稱:硅晶片腐蝕清洗機
2.產(chǎn)品用途:適用于2"~8"硅片腐蝕清洗
3.設(shè)備介紹:本設(shè)備為柜體式腐蝕機,整臺設(shè)備均采用進口件.
基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國茲白色聚丙烯(PP)
門板材質(zhì):德國透明聚氯乙烯(PVC)
腐蝕槽材質(zhì):德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)
清洗槽材質(zhì):德國自然色聚丙烯板(NPP)
腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器
清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置
整機外形美觀,實用
4.設(shè)備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)
5.設(shè)備重量:8000Kg(約)
6,設(shè)備控制方式: PLC結(jié)合操作觸摸屏控制
7.設(shè)備動力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制
整機額定電功率(參考):20KW
電氣性能:E級,并有良好的接地
水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25
DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MM,DN25
氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)
排廢:DN50
排廢酸:DN40
排風:DN200
環(huán)境要求:空氣溫度5-40°C;相對濕度: |
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清理設(shè)備
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