二手舊等離子刻蝕機進口清關(guān)報檢報關(guān)行
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等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中1常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講，等離子清洗實質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝。近期的發(fā)展是在反應(yīng)室的內(nèi)部安裝成擱架形式，這種設(shè)計的是富有彈性的，用戶可以移去架子來配置合適的等離子體的蝕刻方法：反應(yīng)性等離子體（RIE），順流等離子體（downstream），直接等離子體（direction plasma）。
主要企業(yè)（品牌）：
國際：英國牛津儀器公司、美國Torr公司、美國Gatan公司、英國Quorum公司、美國利曼公司、美國Pelco公司。
國內(nèi)：北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、中國電子科技集團第四十八所、戈德爾等離子科技（香港）控股有限公司、中國科學院微電子研究所、北方微電子、北京東方中科集成科技股份有限公司、北京創(chuàng)世威納科技。
二手舊等離子刻蝕機進口提供的具體材料：
申請資料包括：
1）進口舊半導體產(chǎn)品備案申請書
2）申請人、收貨人、發(fā)貨人營業(yè)執(zhí)照（復印件）
3）裝運前預(yù)檢驗申請書
4）擬進口舊半導體產(chǎn)品清單（按標準格式填寫，一式兩份，要求以電腦打制。）
5）進口上海半導體設(shè)備描述（按網(wǎng)上標準格式填寫）
6）其它材料（8年前制造的舊半導體晶圓產(chǎn)品原則上均需提供產(chǎn)品彩色圖片/照片；制造年限久的半導體晶圓如在發(fā)運前已經(jīng)維修整理，申請人可提供相關(guān)記錄與證明；進口的二手大型成套半導體晶圓需提供半導體晶圓配置圖、工藝流程圖等資料。）
7）進口用于銷售、租賃或者維修等用途且國家實施強制性產(chǎn)品認證制度、進口質(zhì)量許可管理以及有其他規(guī)定要求的舊半導體晶圓產(chǎn)品的，備案申請人申請備案時必須提供相應(yīng)的證明文件（復印件）
8）合同或協(xié)議
9）進口舊半導體晶圓產(chǎn)品擬備案工作聯(lián)系單（需辦理半導體晶圓證時提供）
進口二手舊等離 子刻蝕機CCIC裝運前預(yù)檢驗工作事項：
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