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PlanarHD氣浮平臺

PlanarHD氣浮平臺//PlanarHD氣浮平臺

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公　司：蘇州高控科技有限公司

發布時間：2023年11月25日

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王曉春先生 (銷售經理)

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詳細說明

PlanarHD氣浮平臺
1*大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2*快的轉向和*小的穩定時間
3主動偏轉控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重復定位精度±50nm
分辨率0.25nm
更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186（1288）599

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