主要用途
常用作薄膜涂層。具有高的硬度和良好的耐磨性，是一種很受重視的耐磨涂層。用空心陰極離子鍍制備的氮化鉻膜具有Cr+Cr2N兩相組織，晶粒度為20～70nm，硬度為HV22GPa。經(jīng)真空退火后，能提高到HV35.4GPa。其耐磨性優(yōu)于CrC膜。反應(yīng)濺射法氮化鉻膜能得到Cr+Cr2N或單相CrN兩種組織，其硬度均在HV20～25GPa(塊體CrN硬度HV11GPa)。用作耐磨涂層。
氮化鉻是什么
中文名稱氮化鉻
CAS NO.12053-27-9
英文名稱 chromium nitride
英文別名 Chromium nitride (Cr2N); Chromium nitride; Dichromium nitride; chromic nitrogen(-3) anion[1]
EINECS 246-016-3
PVD的全寫為Physical Vapor Deposition,中文翻譯為物理氣相沉積。
采用陰極電弧等離子體沉積技術(shù)。陰極電弧等離子體沉積是相對(duì)較新的薄膜沉積技術(shù)，它在許多方面類似于離子鍍技術(shù)。其優(yōu)點(diǎn)：在發(fā)射的粒子流中離化率高，而且這些離化的離子具有較高的動(dòng)能（40-100eV)。許多離子束沉積的優(yōu)點(diǎn)，如提粘著力，增加態(tài)密度、對(duì)化合物膜形成具有高反應(yīng)率等優(yōu)點(diǎn)在陰極電弧等離子體沉積中均有所體現(xiàn)。而陰極電弧等離子體沉積又具有自己一些獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)，如可在較多復(fù)雜形狀基片上進(jìn)行沉積，沉積率高，涂層均勻性好，基片溫度低，易于制備理想化學(xué)配比的化合物或合金。
通過蒸發(fā)過程將陰極材料蒸發(fā)是源于高電流密度，所得到的蒸發(fā)物由電子、離子、中心氣相原子和微粒組成。在陰極電弧點(diǎn)，材料幾乎百分百被離化，這里離子在幾乎垂直于陰極表面的方向發(fā)射出去，當(dāng)帶有高能量的鉻離子碰到氮?dú)夂蟊銜?huì)馬上產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，變成氣態(tài)的氮化鉻分子了。
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