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等離子表面處理設(shè)備整體解決方案提供商

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公　司：昆山國華電子科技有限公司

發(fā)布時間：2019年06月06日

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沈文文女士 (員工)

聯(lián)系時，請說是在企業(yè)錄看到的，謝謝！

電　　話： 0512-50109516 傳　　真：手　　機： 18913240212 地　　址：中國江蘇昆山市昆嘉路2161號郵　　編：
公司主頁：	http://ghdz189.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

表面工藝
主要用于以下兩方面。
①等離子體表面處理:為了提高刀具、模具等的性能，可以用等離子體對金屬表面進行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點是,不是在表面加一覆蓋層,而是改變基體表面的材料結(jié)構(gòu)及其性能。處理過程中，工件溫度比較低，不使工件變形，這對精密的部件很重要。這一方法可以應用于各種金屬基體，主要有輝光放電滲氮，氮碳共滲，滲硼。
②等離子體在電子工業(yè)中的應用:大規(guī)模集成電路片心的生產(chǎn)工藝，過去采用化學方式，采用等離子體方法代替之后，不僅降低了工藝過程中的溫度，還因?qū)⑼磕z、顯影、刻蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法，使工藝更簡單，便于實現(xiàn)自動化，提高成品率。等離子體方法加工的片心分辨率及保真度都高，對提高集成度及可靠性均有利。

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聯(lián)系人：沈文文電話：0512-50109516

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