等離子設備原理及功能簡介
真空等離子清洗器采用電感耦合式工作原理,利用真空泵達到一定的真空值后,在電感的作用下,形成了活性很高的等離子體,由此產生的等離子體可以達到表面改性清洗處理的效果。
1.等離子表面活化/清洗; 2.等離子處理后粘合;
3. 等離子蝕刻/活化; 4. 等離子去膠;
5. 等離子涂鍍(親水,疏水); 6. 增強邦定性;
7.等離子涂覆; 8.等離子灰化和表面改性等場合。
通過其處理,能夠改善材料表面的浸潤能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。
產品介紹
名稱 中型立式真空等離子機
型號 XT-PL60MA
外形尺寸(W×H×D) 1150mm×880mm×1600mm
反應腔尺寸(W×H×D) 400×400×450mm
真空腔體材料 進口316不銹鋼
真空泵 進口4L/S
角閥 北儀 超真空40KF
流量控制器及顯示儀 sevenstar 0-800ml/min
真空顯示規管及讀取器 Pirani
射頻電源 美國品牌 40KHZ、100KHZ 13.56MHZ 、2.45GHZ
PLC系統 三菱(包括PLC,A/D模組兩組,D/A模塊兩組,溫度模塊)
電氣系統 施耐德
變頻器 西門子2KW
觸摸屏 臺灣威綸真彩10.7寸
陶瓷封裝 進口高頻陶瓷
處理氣體 O2、Ar2、N2,H2、CF4
等離子清洗機,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設備。適合各種基片、粉體或顆粒狀材料的等離子表面改性處理,包括:等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、接枝與聚合等。
真空等離子表面處理設備簡介
XT系列低溫等離子表面處理設備-低壓(真空)等離子清洗機由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下,等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度,再在高頻發生器作用下,將氣體進行電離,形成等離子體(物質第四態)。高頻發生器提供能量使氣體電離成等離子態。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電,根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光,材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用,得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。
等離子表面處理設備產品特點
1.環保技術:等離子體作用過程是氣- 固相干式反應 ,不消耗水資源、無需添加化學藥劑,對環境無污染。
2.廣適性:不分處理對象的基材類型,均可進行處理,如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料都能 |
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